7月29日，联合化学（301209.SZ）在投资者互动平台上回应投资者提问时确认，其参股公司米莱芯程的全资子公司芯颐和已于2026年6月30日完成首套i-line照明系统与投影物镜的同步打包发运，交付于国内头部光刻机厂商。

　　据公开报道，此次交付是国内首次由非整机厂企业完成曝光光学系统的成套交付，全套光学系统均为芯颐和自主正向设计。

　　“系统级交付”的市场稀缺性

　　光刻机中，光学系统的价值量占比约为80%，是整机最核心的组成部分。光刻机的本质，其实就是一台精度达到纳米级的“投影仪+照相机”，而光学系统，就是这台“相机”的镜头。

　　目前，市场上从事光刻机光学相关业务的公司大多以交付光学元件或模组为主，即交付的是零部件，系统级集成、适配及最终性能验证由客户自行完成。

　　而芯颐和此次交付的是—整套曝光光学系统，包含照明系统、投影物镜、光机接口及装调标定方案。曝光系统本质上是光学、机械、电气、环境控制等多学科耦合的复杂集成体。系统级交付意味着要统筹光学设计、精密机械、运动控制、电气控制、环境控制等多个专业，并完成系统级的集成装调和标定。

　　目前，芯颐和正按计划推进多批次光学系统的排产交付，产品线从前道光刻、先进封装到光伏应用持续拓展。

　　半导体“材料+设备”双线布局

　　联合化学是国内偶氮类有机颜料的龙头企业，拥有年产2万吨偶氮类有机颜料的规模化产能及3000吨挤水基墨产能。

　　从公司半导体布局来看，公司通过控股子公司启辰半导体布局光刻胶单体业务。同时，通过参股公司米莱芯程切入光刻机核心设备，形成“半导体材料+半导体设备”的双线布局。

　　光刻胶单体是光刻胶的上游核心原料，全球光刻胶市场仍被日美企业占据约90%的份额。启辰半导体聚焦苯乙烯类光刻胶单体、树脂的研发生产，产品主要应用于KrF光刻胶、紫外光固化胶粘剂及OLED等领域。公司已于2024年完成“开发用于半导体领域的高纯度合成工艺”研发项目攻关，产品纯度可稳定达到99.9%。一期产线设计年产能200吨，目前已进入试产阶段，产品已向日韩等海外客户送样。

　　在半导体设备端，截至目前，联合化学对米莱芯程的累计持股比例为37.28%。米莱芯程创始人兼技术负责人高安曾在ASML任职，参与过DUV和EUV投影式光刻机相关工作。公司掌握全流程的系统设计技术以及千余个细分步骤的整机软硬件集成、整机标定及性能调试的系统集成能力。6月24日公司投资者关系活动记录中曾表示，米莱芯程的光刻机目前处于研发攻关的最后阶段，首台设备预计于2026年下半年面世。

　　从有机颜料到光刻胶单体，从参股光刻光学到系统级整机研发，联合化学的“化工+半导体”双轨战略正进入关键验证期。芯颐和首套系统已交付，启辰半导体光刻胶单体产线稳步推进，米莱芯程光刻机整机研发亦处于最后攻关阶段。对于联合化学而言，双轨战略的布局已然形成，战略兑现只是时间问题。