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中环股份:全资子公司环欧公司承担的国家科技重大专项(02专项)项目进展情况来源:巨潮资讯网 | 发布时间:2013年01月04日 21:54 | 作者:
中环股份全资子公司天津市环欧半导体材料技术有限公司,申请承担的国家科技重大专项(02专项)"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"之《区熔硅单晶产业化技术与国产设备研制》项目取得进展。
近日,环欧公司利用现有设备,利用自主知识产权的相关工艺、软件、技术,通过设备改造、工艺调整,实现了生长全过程自动化并成功拉制出直径约205mm、总长约1180mm、总重量70Kg以上的8英寸区熔硅单晶数颗,截止目前月产可达到3500公斤。 全自动化生长的8英寸区熔单晶硅已开始向客户群提供批量生产的产品,目前尚未对公司业绩产生重大影响,对公司的未来将产生积极影响。 文档附件:
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